Polycrystalline SixGe₁-x as the gate electrode in CMOS technology

Författare
Tekniska högskolan i Stockholm Per-Erik Hellberg
(Per-Erik Hellberg., Härtill 7 uppsatser, Diss. (sammanfattning) Stockholm : Tekn. högsk.)
Genre
theses, Avhandlingar
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
Kista snabbtr. 2000 Sverige, Stockholm, Kista [6], iv, 42 sidor. 25 cm